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(希)康斯坦丁‧澤肯特斯、(英)康斯坦丁‧瓦西列夫斯基等 (1)

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碳化矽器件工藝核心技術(簡體書)
79折

1.碳化矽器件工藝核心技術(簡體書)

作者:(希)康斯坦丁‧澤肯特斯; (英)康斯坦丁‧瓦西列夫斯基等  出版社:機械工業出版社  出版日:2024/01/01 裝訂:平裝
本書共包含9章,以碳化矽(SiC)器件工藝為核心,重點介紹了SiC材料生長、表面清洗、歐姆接觸、肖特基接觸、離子注入、幹法刻蝕、電解質製備等關鍵工藝技術,以及高功率SiC單極和雙極開關器件、SiC納米結構的製造和器件集成等,每一部分都涵蓋了上百篇相關文獻,以反映這些方面的最新成果和發展趨勢。
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