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高溫SiC MEMS傳感器的熱電特性(簡體書)
作者:
(澳)丁東安
;
(澳)阮南中
;
(澳)陶宗越
出版社:
科學出版社
出版日:
2022/06/28
裝訂:
平裝
《高溫SiC MEMS傳感器的熱電特性》主要介紹了碳化矽(SiC)傳感器在高溫下熱電特性的研究進展。《高溫SiC MEMS傳感器的熱電特性》可分為三部分,共七章。第一部分從單層SiC和多層SiC的熱阻效應、熱電效應、熱電子效應和熱電容效應等物理效應方面來介紹SiC的熱電特性;第二部分介紹了SiC的諸多重要特徵以及SiC MEMS的製造流程,總結了SiC傳感器、熱流傳感器和對流慣性傳感器的最新進展;第三部分論述了SiC熱電傳感器的應用前景。
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