滿額折
反應性氣體等離子體理論及應用研究（簡體書）
- ISBN13：9787566131676
- 出版社：哈爾濱工程大學出版社
- 作者：劉相梅
- 裝訂／頁數：平裝／122頁
- 規格：24cm*17cm (高/寬)
- 版次：一版
- 出版日：2021/10/01
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商品簡介
目次
商品簡介
當今，隨著低溫等離子體技術的不斷發展，國內外學者對該領域的科研成果的應用及研究愈發關注。本書是對低溫等離子體中反應性氣體放電特性的較為全面和系統的研究。全書內容主要分為兩篇：第一篇為低溫低氣壓反應性氣體放電，主要介紹了低溫等離子體放電的基礎知識、研究了射頻SiH4放電特性和二維甚高頻放電中相位差對SiH4、SiH4/H2等反應氣體放電特性的影響，以及SiH4/NH3/N2等反應氣體放電特性；第二篇為低溫大氣壓反應性氣體放電，主要介紹了低溫大氣壓等離子體放電的基礎知識、大氣壓乙炔微等離子體放電，以及乙炔微放電中模式轉換現象。本書比較系統地介紹了反應性氣體放電特性，並給出了相應結論，為優化等離子體工藝提供了必要的科學依據以適用大部分科研人員的需要。
本書可作為高等學校等離子體物理專業初學者及相關專業科研人員的參考用書。
本書可作為高等學校等離子體物理專業初學者及相關專業科研人員的參考用書。
目次
第一篇 低溫低氣壓反應性氣體放電
第1章 低溫低壓等離子體物理基礎
1.1 低溫等離子體物理簡介
1.2 低溫等離子體源
1.3 低溫等離子體放電的研究方法
1.4 本章小結
第2章 射頻SiH4放電（一維模擬）
2.1 SiH4氣體研究背景
2.2 硅烷等離子體放電特性
2.3 納米顆粒特性
2.4 模擬結果與討論
2.5 本章小結
第3章 甚高頻SiH4、SiH4/H2放電（二維模擬）
3.1 引言
3.2 二維模型描述
3.3 模擬結果與討論
3.4 本章小結
第4章 SiH4/NH3/N2放電
4.1 引言
4.2 低頻脈衝SiH4/NH2/N2放電
4.3 雙頻SiH4/NH3/N2放電
4.4 本章小結
第二篇 低溫大氣壓反應性氣體放電
第5章 低溫大氣壓等離子體物理基礎
5.1 大氣壓等離子體物理簡介
5.2 大氣壓氣體放電形式
5.3 大氣壓等離子體放電的研究方法
5.4 本章小結
第6章 大氣壓乙炔微等離子體放電
6.1 引言
6.2 模型描述
6.3 模擬結果與討論
6.4 本章小結
第7章 乙炔微放電中模式轉換現象
7.1 引言
7.2 模型描述
7.3 模擬結果與討論
7.4 本章小結
結論
參考文獻
第1章 低溫低壓等離子體物理基礎
1.1 低溫等離子體物理簡介
1.2 低溫等離子體源
1.3 低溫等離子體放電的研究方法
1.4 本章小結
第2章 射頻SiH4放電（一維模擬）
2.1 SiH4氣體研究背景
2.2 硅烷等離子體放電特性
2.3 納米顆粒特性
2.4 模擬結果與討論
2.5 本章小結
第3章 甚高頻SiH4、SiH4/H2放電（二維模擬）
3.1 引言
3.2 二維模型描述
3.3 模擬結果與討論
3.4 本章小結
第4章 SiH4/NH3/N2放電
4.1 引言
4.2 低頻脈衝SiH4/NH2/N2放電
4.3 雙頻SiH4/NH3/N2放電
4.4 本章小結
第二篇 低溫大氣壓反應性氣體放電
第5章 低溫大氣壓等離子體物理基礎
5.1 大氣壓等離子體物理簡介
5.2 大氣壓氣體放電形式
5.3 大氣壓等離子體放電的研究方法
5.4 本章小結
第6章 大氣壓乙炔微等離子體放電
6.1 引言
6.2 模型描述
6.3 模擬結果與討論
6.4 本章小結
第7章 乙炔微放電中模式轉換現象
7.1 引言
7.2 模型描述
7.3 模擬結果與討論
7.4 本章小結
結論
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