金剛石膜製備與物性研究及應用（簡體書）

本書系統研究了直流熱陰極輝光等離子體輔助化學氣象沉積金剛石膜的過程中，溫度、壓強、甲烷氫氣流量比等實驗參數對金剛石膜形貌、晶體結構和質量的影響；以甲烷、氫氣為工作氣體，研究低溫低壓下納米金剛石膜的製備；探索向甲烷、氫氣氣氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮氣、氨氣對沉積金剛石膜的表面形貌、結構、晶面取向及導電性能的影響，並以三聚氰胺為氮摻雜源，通過改變氬氣氫氣流量比製備高導電的納米金剛石膜。本書可供從事金剛石膜製備的學者和其他從事材料研究的技術人員閱讀，也可作為相關專業的高等院校本科生、研究生使用和參考。

吳春雷，女，牡丹江師範學院副教授，發表論文如下：1.氬氣濃度對氮摻雜金剛石膜的影響，《人工晶體學報》，2012年2.DC-HCPCVD法高CH4流量下納米金剛石膜的製備及生長特性研究，《真空》，2013年3.9310滲碳鋼強流脈衝電子束表面鈦合金化處理的結構與性能，《中國表面工程》，2014年4.DC-HCPCVD法高低溫低壓下納米金剛石膜的製備及生長特性研究，《真空》，2014年主持的項目有：1.黑龍江省研究生創新項目《直流熱陰極PCVD法製備n型金剛石膜及電學性能分析》2013年結項2.黑龍江省教育廳科研備案項目《白光二極管用的新型紅光熒光粉製備及發光性質和發光機理的研究》2017年

目錄內容提要...II前沿...III目錄...i1金剛石的晶體結構、性質、應用及研究現狀...11.1金剛石的晶體結構...21.2金剛石的性質及應用...41.2.1力學性能及應用.51.2.2熱學性質及應用.61.2.3電學性能及應用.71.2.4光學性能及應用.71.2.5化學性能及應用.81.3金剛石的分類...91.4化學氣相沉積金剛石膜的研究進展及發展前景...11參考文獻...152CVD金剛石的成膜機理、製備方法...192.1CVD法生長金剛石膜的機理...192.2CVD金剛石膜的製備方法簡介...232.2.1熱絲CVD法.242.2.2微波等離子體CVD法.252.2.3等離子體噴射CVD法.262.2.4電子回旋共振CVD法.272.2.5燃燒火焰輔助CVD法.27參考文獻...283金剛石膜的製備設備和表徵手段...303.1直流熱陰極PCVD實驗裝置及實驗準備...303.1.1直流熱陰極PCVD實驗裝置.303.1.2直流輝光放電等離子體原理.333.2金剛石膜的形貌、結構和性能表徵...39
3.2.1掃描電子顯微鏡(SEM).393.2.2X射線衍射分析儀(XRD).403.2.3激光拉曼光譜儀(Raman).433.2.4霍爾效應測試儀(Hall).453.2.5原子力顯微鏡.46參考文獻...494CH4H2氣氛下金剛石膜生長特性研究...504.1壓強對金剛石膜生長特性的影響...504.1.1較高CH4濃度下壓強對金剛石膜生長特性的影響.514.1.2較低CH4濃度下壓強對金剛石膜生長特性的影響.554.2襯底溫度對金剛石膜生長特性的影響...594.2.1SEM分析.594.2.2Raman分析.614.2.3XRD分析.624.2.4綜合分析.634.3CH4流量對金剛石膜生長特性的影響...644.3.1SEM分析.644.3.2Raman分析.664.3.3XRD分析.674.3.4綜合分析.684.4本章小結...69參考文獻...705低溫低壓下納米金剛石膜的製備及性能分析...725.1樣品的製備...735.2結果與討論...735.2.1SEM分析.735.2.2Raman分析.
755.2.3XRD分析.785.3本章小結...80參考文獻...806氮摻雜金剛石膜的製備與性能研究...836.1金剛石膜的摻雜研究概述...836.2氮源性質簡介...876.3C3H6N6流量對金剛石膜的生長特性影響研究...886.3.1SEM分析.886.3.2Raman分析.906.3.3XRD分析.926.3.4電學性能分析.936.4N2流量對金剛石膜生長特性影響研究...946.4.1SEM分析.946.4.2Raman分析.956.4.3XRD分析.966.4.4電學性能分析.976.5NH3對金剛石膜生長特性影響研究...986.5.1SEM分析.986.5.2Raman分析.996.5.3XRD分析.1006.5.4電學性能分析.1016.6Ar氣濃度對氮摻雜金剛石膜的生長特性影響...1026.6.1SEM分析.1036.6.2Raman分析.1046.6.3XRD分析.1066.6.4不同ArH2流量比對納米晶金剛石膜電學性能的影響.1066.7本章小結...107參考文獻...
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