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何廣平和趙明等編著的《動態微機電系統》以動態微機電系統（MEMS）
為主要對象，介紹其相關的功能材料、
設計方法、制造工藝以及控制方法。全書共6章，主要內容包括：動態
MEMS主要技術領域的簡況；動態MEMS中常用的功能材料及其制備方
法；動態MEMS器件的主要設計方法及其發展現狀；動態MEMS的制造工
藝，常見失效模式及其克服方法；動態MEMS的控制理論基礎、控制技術及
其發展現狀、控制實驗方法等方面的論述；典型動態MEMS系統剖析。 《動態微機電系統》可供材料類、機電工程類、自動控制類、儀器科學
類等相關專業的
高年級本科生和研究生作為教材使用，也可供從事MEMS功能材料、
MEMS器件設計、MEMS制造工藝和MEMS控制技術研究的科技人員
參考。
目次
前言
第1章 緒論 1.1 引言 1.2 MEMS的基本特征和主要技術領域 1.3 動態MEMS中的常用材料 1.4 動態MEMS的設計方法簡介 1.5 動態MEMS的制造技術簡介 1.6 動態MEMS的控制技術及其發展概況 1.7 MEMS的應用前景 參考文獻
第2章 動態MEMS中的功能材料與制備方法 2.1 引言 2.2 動態MEMS壓電材料 2.3 動態MEMS磁致伸縮材料 2.4 動態MEMS形狀記憶合金材料 2.5 動態MEMS智能高分子材料 參考文獻
第3章 動態MEMS的設計理論與設計方法 3.1 引言 3.2 分布式全柔性微機構的拓撲優化設計方法 3.3 動態MEMS的可靠性設計方法 3.4 電熱微致動器的魯棒優化設計 3.5 可變電容靜電微電機的優化設計 3.6 動態MEMS設計理論的發展展望 參考文獻
第4章 動態MEMS的制造技術 4.1 MEMS的制造技術簡介 4.2 薄膜材料制備技術 4.3 光刻技術 4.4 刻蝕技術 4.5 鍵合工藝技術 4.6 MEMS制造中常見的失效模式與防止方法 參考文獻
第5章 動態MEMS的建模與控制技術 5.1 引言 5.2 典型動態MEMS的動力學模型 5.3 動態MEMS的非線性特征及其應用 5.4 動態MEMS控制技術的理論基礎 5.5 動態MEMS的控制器設計 5.6 動態MEMS的控制技術實驗方法 參考文獻
第6章 典型動態MEMS剖析 6.1 壓電微致動器的電荷驅動控制 6.2 壓電微電機 6.3 旋轉式靜電微致動器 6.4 PZT微致動器的制備 參考文獻
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