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半導體材料測試與分析（簡體書）
- 系列名：半導體科學與技術叢書
- ISBN13：9787030270368
- 出版社：科學出版社
- 作者：楊德仁
- 裝訂／頁數：精裝／381頁
- 規格：26cm*19cm (高/寬)
- 版次：一版
- 出版日：2021/12/28
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商品簡介
目次
商品簡介
半導體材料是微電子、光電子和太陽能等工業的基石，而其電學性能、光學性能和機械性能將會影響半導體器件的性能和質量，因此，半導體材料性能和結構的測試和分析，是半導體材料研究和開發的重要方面。本書主要介紹半導體材料的各種測試分析技術，涉及測試技術的基本原理、儀器結構、樣品制備和應用實例等內容：包括四探針電阻率、無接觸電阻率、擴展電阻、微波光電導衰減、霍爾效應、紅外光譜、深能級瞬態譜、正電子湮沒、熒光光譜、紫外-可見吸收光譜、電子束誘生電流、I-V和C-V等測試分析技術。
本書可供大專院校的半導體物理、材料與器件、材料科學與工程和太陽能光伏等專業的高年級學生、研究生和教師作教學用書或參考書，也可供從事相關研究和開發的科技工作者和企業工程師參考。
本書可供大專院校的半導體物理、材料與器件、材料科學與工程和太陽能光伏等專業的高年級學生、研究生和教師作教學用書或參考書，也可供從事相關研究和開發的科技工作者和企業工程師參考。
目次
前言
第1章 電阻率測試
第2章 擴展電阻測試
第3章 少數載流子壽命測試
第4章 少數載流子擴散長度測試
第5章 霍爾效應測試
第6章 紅外光譜測試
第7章 深能級瞬態譜測試
第8章 正電子湮沒譜測試
第9章 光致熒光譜測試
第10章 紫外-可見吸收光譜測試
第11章 電子束誘生電流測試
第12章 I-V和C-V測試
第1章 電阻率測試
第2章 擴展電阻測試
第3章 少數載流子壽命測試
第4章 少數載流子擴散長度測試
第5章 霍爾效應測試
第6章 紅外光譜測試
第7章 深能級瞬態譜測試
第8章 正電子湮沒譜測試
第9章 光致熒光譜測試
第10章 紫外-可見吸收光譜測試
第11章 電子束誘生電流測試
第12章 I-V和C-V測試
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