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微系統和納米技術（簡體書）
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商品簡介
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微系統和納米技術，是微米納米技術的兩個重要組成，既有區別又有聯系，是一個新興的多學科交叉的科技領域。本書南40多位國內外著名專家學者分章撰寫，分為微系統和納米科學技術基礎、微系統技術、納米技術、應用問題、發展和展望五個部分，共26章。全書統一規劃，各章獨立，由淺入深，圖文並茂。收錄眾多在第一線耕耘的作者的科技成果和親身體驗是本書的重要特點，書中還邀請了美、德、英、日和我國的權威專家暢談他們數十年從事微系統研究的經驗和對未來的展望，從科技發展的規律說明微米納米科技發展的階段性和成熟周期。
本書可作為相關領域本科生、研究生和教師的教學參考書，并可供相關的科技人員參考。
作者簡介：
王中林，CUSPES 83，物理學博士，美國佐治亞理工學院(Geor-gia Institute Of Technology)終身教授，佐治亞理工學院校攝政董事教授(RegentsProfessor)，佐治亞理工學院納米材料科學與技術中心主任，中國國家納米科學中心海外主任，中國首批國家自然科學基金海外優秀青年科學家，中國科學院海外傑出學者基金獲得者，歐洲科學院院士。
王中林教授長期從事納米材料科學研究，在碳納米管、納米帶、生物醫用納米材料等研究方面具有很深的造詣。曾榮獲美國顯微鏡學會1999年巴頓獎章、佐治亞理工學院2000年傑出研究獎、2001年S.T.L.獎金(美國化學學會)、美國自然科學基金會Career基金等。王中林教授在國際一流學術刊物上發表論文400篇，論文被引用7000次以上，是1992—2000年十年內納米科技論文引用次數世界個人排名前25位作者之一。他成功組織并擔任過5次國際學術會議主席，出版4本專著和10本編輯書籍，被邀請做過300余次學術講演和大會特邀報告。法國居里夫人大學和法國聯合大學曾于2003年5月7日，以王中林教授個人名義舉辦納米科技專題研討會。
本書可作為相關領域本科生、研究生和教師的教學參考書，并可供相關的科技人員參考。
作者簡介：
王中林，CUSPES 83，物理學博士，美國佐治亞理工學院(Geor-gia Institute Of Technology)終身教授，佐治亞理工學院校攝政董事教授(RegentsProfessor)，佐治亞理工學院納米材料科學與技術中心主任，中國國家納米科學中心海外主任，中國首批國家自然科學基金海外優秀青年科學家，中國科學院海外傑出學者基金獲得者，歐洲科學院院士。
王中林教授長期從事納米材料科學研究，在碳納米管、納米帶、生物醫用納米材料等研究方面具有很深的造詣。曾榮獲美國顯微鏡學會1999年巴頓獎章、佐治亞理工學院2000年傑出研究獎、2001年S.T.L.獎金(美國化學學會)、美國自然科學基金會Career基金等。王中林教授在國際一流學術刊物上發表論文400篇，論文被引用7000次以上，是1992—2000年十年內納米科技論文引用次數世界個人排名前25位作者之一。他成功組織并擔任過5次國際學術會議主席，出版4本專著和10本編輯書籍，被邀請做過300余次學術講演和大會特邀報告。法國居里夫人大學和法國聯合大學曾于2003年5月7日，以王中林教授個人名義舉辦納米科技專題研討會。
目次
編者的話
第一篇 微系統和納米技術基礎
第1章 納時代的信息電子學
第2章 微/納流體力學
第3章 微系統中的材料問題
第4章 微機電系統的數值仿真方法
第5章 多學科交叉中的納米力學
第6章 納米結構與單分子的電子輸運性質
第7章 納米材料的結構分析和表征
第二篇 微系統
第8章 MEMS介紹
第9章 微機電傳感器
第10章 微致動器
第11章 MEMS設計
第12章 微型電系統的加工製造工藝和技術
第13章 光MEMS和納米光子
第14章 MEMS封裝介紹
第三篇 納米技術
第15章 納米管、納米線和納米帶
第16章 半導體納米晶體——量子點、量子線、量子棒
第17章 STM和AFM在納米加工和製造中的應用
第18章 納米尺度製造
第19章 基於微機電系統造工藝的集成納米技術
第四篇 微系統和納米技術應用
第20章 微機電系統的應用
第21章 微機電傳感系統
第22章 集成CMOS檢測電路的表面微機械加速度計
第23章 汽車的MEMS
第24章 生物芯片
第25章 納米技術在生物和醫學中的應用
第五篇 發展和展望
第26章 發展和展望
第一篇 微系統和納米技術基礎
第1章 納時代的信息電子學
第2章 微/納流體力學
第3章 微系統中的材料問題
第4章 微機電系統的數值仿真方法
第5章 多學科交叉中的納米力學
第6章 納米結構與單分子的電子輸運性質
第7章 納米材料的結構分析和表征
第二篇 微系統
第8章 MEMS介紹
第9章 微機電傳感器
第10章 微致動器
第11章 MEMS設計
第12章 微型電系統的加工製造工藝和技術
第13章 光MEMS和納米光子
第14章 MEMS封裝介紹
第三篇 納米技術
第15章 納米管、納米線和納米帶
第16章 半導體納米晶體——量子點、量子線、量子棒
第17章 STM和AFM在納米加工和製造中的應用
第18章 納米尺度製造
第19章 基於微機電系統造工藝的集成納米技術
第四篇 微系統和納米技術應用
第20章 微機電系統的應用
第21章 微機電傳感系統
第22章 集成CMOS檢測電路的表面微機械加速度計
第23章 汽車的MEMS
第24章 生物芯片
第25章 納米技術在生物和醫學中的應用
第五篇 發展和展望
第26章 發展和展望
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