可重入製造系統的控制（簡體書）

本書主要從可重入制造系統的控制體系結構、控制方法和控制性能分析方法等角度對可重入制造系統控制問題進行介紹。重點介紹可重入制造系統的分層自適應控制體系結構、分層協同控制技術、重調度控制技術、預測控制系統控制的實驗證平臺和在企業車間的信息化系統進行介紹。實例驗證表明，本書提出的方法和技術可能效減少晶圓在制品庫存，縮短晶圓產品交貨期，提高半導體生產線的整體設備利用率，提高半導體企業的市場響應速度。 本書可以為從事可重入系統控制等領域研究的科研人員、半導體企業信息化咨詢顧問和項目實施工程師等提供參考與幫助；也可以作為機械工程、工業工程、自化、計算機工程、管理工程等相關專業的研究生和高年級本科生的教材和參考書。

前言
第１章　緒論
　1.1　制造系統
1.1.1　制造系統的概念
1.1.2　柔性制造系統
1.1.3　敏捷制造系統
1.1.4　網絡化制造系統
1.1.5　可重入制造系統
　1.2　制造系統的信息化
1.2.1　信息化
1.2.2　制造系統作息化的定義與特點
1.2.3　制造系統的信息模型
1.2.4　可重入制造系統的信息化模型
　1.3　制造系統的控制
1.3.1　制造系統控制的目的及意義
1.3.2　制造系統的控制體系結構
1.3.3　制造系統的控制方法
1.3.4　制造系統控制的性能分析方法
1.3.5　可重入制造系統的控制
　1.4　本書的主要內容
　1.5　本章小結
　參考文獻
第２章　半導體制造系統介紹
　2.1　概述
　2.2　半導體制造產業的戰略意義
　2.3　半導體制造系統工藝
2.3.1　半導體單晶硅片制備工藝
2.3.2　半導體制造前道工藝
2.3.3　半導體制造后道工藝
2.3.4　可重入制造系統的工藝范圍
　2.4　半導體制造系統的組成及特點
2.4.1　半導體制造系統的構成
2.4.2　半導體制造系統的特點
　2.5　可重入制造系統控制的需求
　2.6　本章小結
　參考文獻
第３章　可重入制造系統的分層自適應控制系結構
　3.1　概述
　3.2　可重入制造系統的控制體系結構研究現狀
3.2.1　集中式控制體系結構
3.2.2　遞階式控制體系結構
3.2.3　分布式控制體系結構
　3.3　可重入制造系統的分層適應控制機制
3.3.1　可重入制造系統的控制功能
3.3.2　可重入制造系統的控制機制
　3.4　可重入制造系統的分層自適應控制體系結構
3.4.1　可重入制造系統控制體系結構構成
3.4.2　可重入制造系統控制體系結構的特點
　3.5　本章小結
　參考文獻
第４章　可重入制造系統控制方法基礎
　4.1　概述
　4.2　運籌學
4.2.1　概述
4.2.2　運籌學在 RMS 中的應用
　4.3　啟發式規則
4.3.1　概述
4.3.2　啟發式規則在 RMS 中的應用　
　4.4　人工智能方法
4.4.1　人工神經網絡
4.4.2　模糊邏輯
4.4.3　基于 Agent 的方法
4.4.4　人工智能方法在 RMS 中的應用
　4.5　計算智能方法
4.5.1　概述
……
第５章　可重入制造系統的分層協同控制技術
第６章　可重入制造系統的重調度控制技術
第７章　可重入制造系統的預測控制技術
第８章　可重入制造系統的物流控制技術
第９章　可重入制造系統的性能分析技術
第10章　可重入制造系統的試驗平臺
第11章　半導體制造系統控制軟件及應用
參考文獻