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鄭志霞所著的《矽微機械傳感器》圍繞矽微機械傳感器的基本原理、工藝技術、應用領域及接口電路等幾個方面展開介紹和討論。主要內容有：微機械系統的發展歷史、現狀、應用領域及前景；矽的物理、化學、機械特性；微機械傳感器的主要工藝技術和特殊T藝的研究；常見微機械傳感器結構；矽微機械壓力傳感器、加速度傳感器、角速度傳感器、熱流體傳感器的基本原理、結構設計、工藝過程及應用等；常見傳感器的接口電路；微機械傳感器的封裝技術及幾種常見微傳感器的封裝。《矽微機械傳感器》可供從事微機械傳感器、光電子技術、通信技術、精密儀器與檢測技術等的教學、科研、工程技術人員以及高等院校的師生參考。
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1 MEMS和MEMS傳感器1.1 微電子機械系統(MEMS)1.2 微機械傳感器研究的現狀與發展方向本章參考文獻2 矽的基本特性2.1 矽晶體結構2.2 矽的電學性質2.3 矽的光學、熱學性質2.4 矽的機械性質2.5 矽的化學性質本章參考文獻3 矽片清洗與光刻工藝3.1 矽片的清洗3.2 光刻工藝本章參考文獻4 薄膜澱積4.1 薄膜澱積4.2 二氧化矽薄膜的製備方法4.3 氮化矽薄膜的製備方法本章參考文獻5 矽刻蝕工藝5.1 刻蝕參數5.2 濕法刻蝕技術5.3 幹法刻蝕技術本章參考文獻6 雜質摻雜6.1 擴散6.2 離子注入6.3 擴散和離子注入的優缺點本章參考文獻7 圓片鍵合技術7.1 金矽共熔鍵合7.2 矽一矽直接鍵合7.3 矽／玻璃靜電鍵合本章參考文獻8 微機械結構8.1 微梁結構8.2 膜片與薄膜本章參考文獻9 微機械傳感原理9.1 金屬應變片9.2 半導體應變片9.3 半導體應變片種類和結構9.4 半導體應變片形變與阻值的轉換9.5 電容式傳感器本章參考文獻10 MEMS壓力傳感器10.1 壓阻式壓力傳感器10.2 電容式壓力傳感器10.3 諧振式微機械壓力傳感器本章參考文獻11 加速度傳感器11.1 矽微加速度傳感器11.2 電容式微加速度傳感器本章參考文獻12 微機械角速度傳感器——微機械陀螺儀12.1 科裡奧利效應12.2 動力學原理12.3 微機械陀螺儀的驅動方式12.4 音叉式角速度傳感器12.5 矽微振動角速度傳感器本章參考文獻13 流體傳感器13.1 流體動力學13.2 流體流量傳感器13.3 微機械風速計13.4 其他流體傳感器本章參考文獻14 信號處理電路14.1 壓阻式傳感器信號處理電路14.2 電容式傳感器信號處理電路本章參考文獻15 MEMS傳感器封裝15.1 MEMs傳感器封裝面臨的挑戰15.2 MEMS傳感器封裝技術15.3 適用于矽傳感器的封裝形式15.4 封裝應力15.5 壓力傳感器封裝15.6 慣性傳感器封裝15.7 熱流體傳感器封裝本章參考文獻附錄 英漢常用詞對照表
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