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1.
積體電路微影製程
作者：
龍文安
出版社：
高立
出版日：
1998/10/20
裝訂：
平裝
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2.
半導體微影技術
作者：
龍文安
出版社：
五南圖書出版
出版日：
2004/10/01
裝訂：
平裝
無法訂購
絕版無法訂購
3.
半導體奈米技術
作者：
龍文安
出版社：
五南圖書出版
出版日：
2010/07/08
裝訂：
精裝
半導體製程已進入奈米線幅，而廣義微影技術為半導體製程之核心，惜國內尚無中文微影技術專書，因此決定教研之餘撰寫本書，以彌補此缺憾與空白，並為推動科技中文化，略盡個人棉薄。 本書重點在微影技術原理與概念之說明，而不在生產線上實務細節之描述。內容包括微影技術全部重要內涵，例如微影製程、微影光學、主要微影方法、其他微影方法、圖罩與圖規、阻劑、解像度增進技術、銅互連線、化學機械研磨、電漿蝕刻與光學微影模擬
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