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直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝優化（簡體書）
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商品簡介
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本書是作者長期從事直拉矽單晶生長過程數值模擬與工藝優化研究的總結。書中在概述矽單晶發展前景、主要生長設備及關鍵工藝的基礎上，介紹直拉矽單晶生長過程數值模擬方法、工藝流程與參數設置、熱系統設計與製造等方面的內容；從介觀層面闡述多物理場耦合作用對晶體生長的影響，並給出關鍵工藝參數選取方法；提出一系列結合變量檢測、智能優化及先進控制技術的矽單晶工藝研究理論和工程實現方法。本書在理論和實驗兩方面均進行詳盡闡述並給出部分工程實驗結果，具有問題驅動、理論牽引、內容具體、結合實際、指導性強等特點。
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