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直拉矽單晶生長過程建模與控制（簡體書）
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本書源于作者在直拉矽單晶生長控制領域十餘年的研究心得與成果積累，在對矽單晶生長工藝參數及製備理論進行全面論述的基礎上，系統地介紹了直拉矽晶體生長的基本原理和工藝過程以及熱場、磁場等關鍵部件的設計理論與方法。研究了影響矽片品質的關鍵變數的檢測問題和工程方法，提出了全自動晶體生長控制系統的基本理論和控制方法。全書分為八章，即緒論、矽單晶生長原理、矽單晶直拉（CZ）生長設備、直拉單晶爐熱系統建模與設計實現、磁場環境下直拉矽單晶生長原理與實現、晶體生長過程關鍵變數的檢測與資訊處理、晶體生長程序控制原理與方法、全自動單晶爐自動控制系統設計與實現。書中的主要內容均從理論和實踐兩的方面予以闡述並輔以工程實驗結果，具有理論引導、內容豐富、結合實際、指導性強的特點。本書對於從事積體電路產業的專業技術人員及從事此領域的研究、開發的相關人員、高校教師、碩士研究生和博士研究生具有參考價值。
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