真空科學技術叢書：超高真空（簡體書）

本書全面系統的介紹了超高真空泵、超高真空測量、超高真空用法蘭、閥門、冷阱、選用材料、超高真空器件、超高真空系統以及超高真空系統檢漏、運行于維護等等。是從事超高真空技術的科技人員必備的工具書，供廣大科技工作者及工藝人員所使用。

真空科學技術是現代科學技術中應用最為廣泛的高技術之一。制備超純材料需要超高真空技術，太陽能薄膜電池及芯片制作需要清潔真空技術，航天器空間環境地面模擬設備需要大型真空容器技術。真空科學技術已滲透到人們的教學、科研、生產過程、經濟活動以及日常生活中的方方面面，人們普遍認識到了真空科學技術的重要性。
真空科學技術是一門涉及多學科、多專業的綜合性應用技術，它吸收了眾多科學技術領域的基礎理論和最新成果，使自己不斷地進步和發展。真空科學技術的應用標志著國家科學和工業現代化的水平，大力發展真空科學技術是振興民族工業，實現國家現代化的基本出發點。
多年來，黨和國家政府非常重視發展真空科學技術。大學設立了真空科學技術專業，培養高層次真空專業人才；興辦真空企業，設計、制造真空產品；成立真空科學技術研究所開發新技術，提高真空應用水平；建立了相當規模和水平的真空教學、科研和生產體系；獨立自主地生產出各種真空產品，滿足了各行業的需求，推動了社會主義經濟的發展。
在取得豐碩的物質成果和經濟效益的同時，真空科技人員積累了寶貴的理論認知和實踐經驗。在和真空科學技術摸、爬、滾、打的漫長歲月中，一大批人以畢生的精力、辛勤的勞動親身經歷了多少次失敗的痛苦和成功的喜悅。通過深刻的思考與精心的整理換得了大量的實踐經驗，這些付出了昂貴代價得來的知識是書本上難以學到的。經歷了半個世紀滄桑歲月，當年風華正茂的真空科技工作者均年事已高，霜染鬢須，退居二線。唯一的希望是將自己積累的知識、技能、經驗、教訓通過文字載體傳承給新一代的后來人，使他們能夠在前人搭建的較高平臺上工作。基于這一考慮，在蘭州物理研究所支持下，我們聚集在一起，成立了《真空科學技術叢書》編寫委員會，由全國高等院校、科研院所及企業中長期從事真空科學技術研究工作的工程技術人員組成。編寫一套《真空科學技術叢書》，系統地、完整地從真空科學技術的基本理論出發，重點敘述應用技術及應用的典型例證。這套叢書分專業、分學科門類編寫，強調系統性、理論性和實用性，避免重復性。這套叢書的出版是我國真空科學技術工作者大力合作的成果，匯集了我國真空科學技術發展的經驗，希望這套叢書對21世紀我國真空科學技術的進步和發展起到推動作用，為實施科教興國戰略做出貢獻。
這套叢書像流水一樣持續不斷，是不封閉的系列叢書，只要有相關著作就可以陸續納入這套叢書出版。《叢書》可供大專院校師生，科學研究人員，工業、企業技術人員參考。
這套叢書成立了編寫委員會，設主編、副主編及參編人員、技術編輯等，由化學工業出版社出版發行。部分真空界企業提供了資助，作者、審稿者、編輯等付出了辛勤勞動，在此一并表示衷心感謝。

達道安
2012年03月22日

第1章超高真空技術概述

11氣體分子熱運動速度
12氣體分子的平均自由程λ
13氣體分子碰撞次數
131氣體分子之間(或電子與氣體分子間)的碰撞次數
132分子與器壁碰撞數（碰撞頻度）
14氣體壓力
15表面形成單分子層的時間
16氣體分子在材料表面的吸附
161物理吸附速率方程
162化學吸附速率方程
17脫附速率
171一級脫附速率
172二級脫附速率
18吸附等溫線（平衡狀態下吸附量）

第2章超高真空泵

21超高真空油擴散泵
211超高真空油擴散泵的極限壓力
212泵的返油率
213擋油帽
214擋板
215冷阱
216氣體的反擴散
217擴散泵油
218擴散泵油分餾裝置
219擴散泵的抽氣速率
2110擴散泵臨界前級壓力
2111擴散泵的加熱功率
2112擴散泵的不穩定性
22渦輪分子泵
221渦輪分子泵的結構、抽氣原理
222分子泵的抽速和壓縮比
223渦輪分子泵極限壓力
224渦輪分子泵軸承及動平衡
225渦輪分子泵操作與運轉
226國產立式渦輪分子泵
23濺射離子泵
231濺射離子泵抽氣原理
232二極濺射離子泵的抽速
233二極濺射離子泵的極限壓力
234二極濺射離子泵的不穩定性
235二極濺射離子泵的改進
236濺射離子泵的磁場與漏磁
237濺射離子泵的啟動特性
238濺射離子泵的預抽
239濺射離子泵的使用壽命
2310濺射離子泵性能參數
24低溫泵
241概述
242低溫泵的分類
243低溫泵的極限壓力
244低溫泵的抽速
245低溫泵的熱負荷
246低溫泵的制冷時間
247低溫泵工作壽命
248低溫泵的啟動壓力（轉換壓力）
249貯槽式低溫泵
2410氦流程低溫泵
2411小型制冷機低溫泵

第3章超高真空用法蘭、閥門、冷阱

31金屬超高真空法蘭
311Batzer密封法蘭
312角形密封法蘭
313Wheeler法蘭
314ConFlat法蘭
315階梯密封法蘭
316金屬密封法蘭標準
32氟橡膠密封超高真空法蘭
33真空管路及真空規管接頭
331超高真空管路接頭型式
332真空計規管接頭
333柔性管路
34真空傳動部件
341膜片、波紋管傳動
342磁力傳動
343磁流體傳動密封
344液態金屬密封
35電極引入部件、觀察窗
351電極引入部件
352觀察窗
36真空閥門
361真空閥門的分類
362真空閥門基本型號
363超高真空閥門
364擋板和阱

第4章超高真空測量

41概述
42全壓力測量
421超高真空全壓力測量的要求
422BA型熱陰極超高真空電離計
423其他超高真空熱陰極電離計
424冷陰極超高真空電離計
425超高真空校準
426測量方法及影響測量因素
43分壓力測量及氣體成分分析
431超高真空氣體成分分析及分壓力測量對真空質譜計的要求
432常用術語及真空質譜計主要技術指標
433超高真空用的質譜計
434超高真空系統殘余氣體成分分析
435真空系統氣體組分的分壓力測量
436超高真空分壓力測量常用數據表

第5章超高真空系統

51概述
52玻璃超高真空系統
521超高真空常用玻璃
522玻璃的封接
523玻璃的放氣與除氣
524玻璃的滲氦
525玻璃真空系統制作
53金屬超高真空系統
531金屬超高真空系統設計
532超高真空抽氣機組

第6章超高真空系統檢漏、運轉與維護

61超高真空系統的安裝
62超高真空系統的檢漏
621真空系統（容器、部件）漏氣的判斷
622真空系統允許的最大漏率
623系統漏率的測量
624檢漏儀、檢漏方法和示漏物質的選擇
625真空設備檢漏須知
63超高真空系統的運轉
631超高真空系統的預抽（粗抽）
632超高真空系統烘烤除氣
633超高真空泵操作注意事項
634超高真空系統的維護

參考文獻

超高真空技術是真空設備中能夠獲得潔凈環境的重要手段，本書所涉及內容廣泛用于現代尖端技術，例如高能加速器、半導體芯片、分子束外延生長、材料微量分析、航天技術中的高規管道環模設備、冶金、食品、醫藥、運輸、熱處理、焊接、鑄造、鍍膜、檢測、離子束、電子束、激光、微機電、可控熱核等領域。
本書全面系統的介紹了超高真空泵、超高真空測量、超高真空用法蘭、閥門、冷阱、選用材料、超高真空器件、超高真空系統以及超高真空系統檢漏、運行于維護等等。是從事超高真空技術的科技人員必備的工具書，供廣大科技工作者及工藝人員所使用。