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《基於MEMS技術的矽脈象傳感與檢測系統的研究》介紹了採用MEMS技術、CMOS工藝和激光加工技術，設計並製作矽杯和懸臂梁兩種結構的以納米矽/單晶矽異質結為源極和漏極的MOSFETs脈象傳感器的方法，闡述了納米矽/單晶矽異質結MOSFETs脈象檢測系統的製作方法，以及採用人工神經網絡處理脈象檢測結果的方法。
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第1章 概述1.1 引言1.2 脈象傳感器的分類和研究現狀1.3 MOSFET壓力傳感器的研究現狀1.4 納米矽／單晶矽異質結研究現狀1.5 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感與檢測系統的研究目的和意義1.6 主要研究內容第2章 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器的理論分析與結構設計2.1 MOSFETs矽脈象傳感器的理論模型2.2 MOSFETs矽脈象傳感器的理論分析2.3 半導體材料壓阻效應基本理論2.4 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器力敏結構設計2.5 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器結構模型2.6 本章小結第3章 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器製作工藝3.1 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器製作工藝3.2 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器管芯性能檢測封裝結構3.3 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器電源激勵方式3.4 本章小結第4章 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器的實驗結果與討論4.1 納米矽／單晶矽異質結p-MOSFET特性4.2 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器的靜態特性研究4.3 懸臂梁式納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象傳感器的測試4.4 納米矽／單晶矽異質結MOSFE7s脈象傳感器的溫度特性4.5 本章小結第5章 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象檢測的系統設計與實測結果分析5.1 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象檢測系統的概述5.2 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象檢測系統各功能模塊的設計5.3 納米矽／單晶矽異質結MOSFETs脈象檢測系統的脈象檢測結果5.4 採用人工神經網絡處理脈象檢測結果5.5 本章小結結論參考文獻後記
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