實用真空技術（簡體書）

《實用真空技術》主要內容包括：真空知識概論、真空密封、影響真空度的要素、真空系統、典型的薄膜生長方式。．

郭方准，1970年生，理學博士（日本大阪市立大學）．回國前任日本同步輻射光科學中心（SPring-8）研究員，現任大連交通大學教授、中國科學院大連化學物理研究所研究員。主要榮譽：中國科學院百人計劃（2009）國家千人計劃（2010）中國僑聯特聘專家（2011）遼寧省攀登學者（2012）主要獲獎：第七屆表面界面和納米技術國際會議青年科學家獎（2003）日本文部科學大臣獎（2008）主要著作：《Frontal Semiconductor Research》Nova Science Publishers， Inc．ISBN：1-60021-210-7．（USA 2006）．．

《實用真空技術》介紹了真空技術和物理學的進步緊密相關，目前已經是表面科學、半導體應用、高能粒子加速器、核聚變研究裝置和宇宙開發領域不可缺少的技術。

第1章 真空知識概論1．1 什麼是真空1．2 真空的發現和理論基礎1．3 幾個重要的概念1．4 真空技術的應用第2章 真空密封2．1 永久密封2．2 非永久密封2．3 真空法蘭2．4 真空導入要素2．5 波紋管第3章 影響真空度的要素3．1 真空檢漏3．2 真空中的材料氣體放出3．3 真空材料的表面淨化和拋光3．4 真空系統的排氣計算第4章 真空系統4．1 真空系統的構成4．2 真空腔體4．3 真空泵4．4 真空計4．5 真空閥門4．6 各種運動導入器4．7 配管連接元件第5章 典型的薄膜生長方式5．1 物理方式成膜（Physical Vapor Deposition:PVD）5．2 化學方式成膜（Chemical Vapor Deposition:CVD）附錄參考文獻．

真空本身沒有意義，在真空環境中完成工作才賦予其真正的價值。各種真空運動導入器的使用，實現了對真空環境中的樣品傳遞、操縱以及溫控等。真空運動導入器要求真空密封性高、驅動順暢、驅動重復性高以及使用壽命長。
本節介紹幾種代表性的真空運動導入器。
1.互線推動驅動器
直線推動驅動器主要由外筒、真空法蘭、移動法蘭、波紋管、推動桿、驅動軸等組成。外筒內部的波紋管分別和真空法蘭以及移動法蘭焊接，實現伸縮和真空密封。移動法蘭的兩端分別與驅動軸和推動桿連接。操縱推動桿，則驅動軸可在真空中直線移動。真空法蘭內側設置準直部件，確保驅動軸不會擺動。外筒開有長條孔，固定在移動法蘭外壁上的指針沿著長條孔移動，達到指示驅動軸移動位置的目的。外筒側壁設置固定螺絲，可將推動桿固定在任意位置。直線推動驅動器中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧銅材料，可耐高溫烘烤，適合在超高真空系統中的使用。直線推動驅動器的示意圖參照圖4.25。
2.直線驅動器
超高真空直線驅動器的直線驅動和真空密封同樣靠波紋管來實現（圖4.26）。波紋管的兩端分別和移動法蘭與真空法蘭焊接。移動法蘭在真空一側和驅動軸連接，另一側設計成螺紋構造。移動法蘭和把手之間的螺紋構造相匹配，旋轉把手，則波紋管作直線運動，從而帶動驅動軸的直線運動。真空法蘭內部安裝直線軸承，可實現驅動軸的運動準直性。外筒上帶有刻度，通過把手的位置可知驅動軸的行程。
直線驅動器精度高，重復性強，可和直流或步進電機組合，實現電控操作。