脈衝激光沉積動力學原理（簡體書）

《脈沖激光沉積動力學原理》對現代材料先進制備技術——脈沖激光沉積技術的機理，進行了深入、系統的討論，是國際上第一本全面闡述脈沖激光沉積動力學的專著，內容取材于作者多年的科研結晶。《脈沖激光沉積動力學原理》介紹作者提出的能自洽描述全沉積過程的統一動力學模型，并逐一研究各工藝階段的熱動力學的規律，詳盡地闡述有關的最新研究成果：基于局域守恒定律的等離子體的新演化模型，羽輝演化的近場、中場和原場行為的研究，包含熱源項、蒸發項、吸收率動態變化和非傅里葉效應的綜合燒蝕模型，薄膜的蒙特卡羅研究和若干標度規律的發現、修正和綜合雙溫模型等。《脈沖激光沉積動力學原理》的飛秒激光動力學研究，其應用范圍涉及微納加工、光電、生物、信息和化學工程等，因而《脈沖激光沉積動力學原理》具有很強的科學性、原創性和實踐性。
《脈沖激光沉積動力學原理》可作為材料科學、物理學以及相關專業的研究生教材，也可供從事飛秒激光技術研究和應用的科研工作者參考。

前言

第1章　薄膜材料與制備方法引論
1．1　薄膜材料的特點
1．2　常見的薄膜材料
1．2．1　結構薄膜材料
1．2．2　功能薄膜材料
1．3　常見的薄膜制備方法
1．3．1　真空蒸發沉積
1．3．2　分子束外延法
1．3．3　溶膠凝膠法
1．3．4　濺射法
參考文獻

第2章 薄膜的缺陷、界面與表征
2．1　薄膜的缺陷
2．1．1　點缺陷
2．1．2　線缺陷
2．2　薄膜的界面與薄膜間的相互擴散
2．2．1　薄膜與襯底間的界面
2．2．2　不同材料薄膜之間的界面
2．3　薄膜材料的表征
2．4　X射線衍射分析
2．5　掃描隧道顯微鏡
2．6　掃描近場光學顯微鏡
參考文獻

第3章　PLD技術及其2．L模型一般描述
3．1　PLD發展過程
3．2　PLD技術制備薄膜的實驗工藝
3．3　PLD制備過程的一般描述
3．3．1　PLD技術的物理圖像的一般描述
3．3．2　激光與靶材的相互作用
3．3．3　等離子體膨脹
3．3．4　襯底上沉積成膜
3．4　PLD的z—L模型簡介
3．4．1　脈沖激光燒蝕靶材過程的描述
3．4．2　等離子體的空間膨脹過程研究
3．4．3　薄膜沉積特性研究
3．4．4　等離子體沖擊波模型
參考文獻

第4章　激光燒蝕的基本模型與含熱源項模型
4．1　激光燒蝕產生的燒蝕面的位置演化規律
4．1．1　燒蝕?程的基本物理圖像
4．1．2　燒蝕面的位置演化規律
4．2　燒蝕方程的導熱方程和定解條件
4．2．1　導熱方程與定解條件
4．2．2　邊界條件的非線型性
4．2．3　積分法
4．3　液相區和固相區的溫度演化規律
4．3．1　液相區的溫度演化規律
4．3．2　固相溫度演化規律
4．4　蒸發弛豫過程對燒蝕面的影響
4．4．1　激光燒蝕能量閾值、弛豫時間
4．4．2　燒蝕面位置的演化規律
4．5　含熱源項的激光燒蝕導熱理論模型
4．5．1　導熱方程
4．5．2　熔融前的定解條件
4．5．3　熔融後的定解條件
4．6　靶材熔融前的溫度分布演化規律
4．6．1　靶材熔融前溫度分布的差分模擬研究
4．6．2　靶材在熔融前溫度隨位置的分布規律
4．6．3　靶材熔融前溫?分布的演化規律
4．7　靶材熔融後的溫度和界面演化規律
4．7．1 固液相的溫度演化規律和固液界面演化規律
4．7．2　硅靶材熔融後的溫度分布模擬
參考文獻