多晶矽生產技術（簡體書）

本書主要講述了改良西門子法生產多晶硅的制備原理。內容包括多晶硅原料制備、原料提純、多晶硅制備、尾氣回收、硅芯的制備等核心內容，同時對超純水的制備，氫氣、氯氣的制備和凈化作了詳細介紹。本書緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。
本書可作為高職高專硅材料技術及光伏專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事單晶硅生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。

第1章　概述
　1.1　硅的簡介
　1.2　硅材料工業概況
　1.3　多晶硅的生產方法
　小結
　習題
第2章　純水的制備
　2.1　水的概述
　2.2　離子交換法簡介
　2.3　去離子水（高純水）的制備工藝
　2.4　離子交換法制備純水
　2.5　純水制備系統主要設備及工作原理
　2.6　純水制備系統運行控制
　2.7　純水制備系統的清洗
　2.8　高純水的測量
　小結
　注釋
　習題
第3章　工業硅的生產
　3.1　工業硅生產原理及影響因素
　3.2　工業硅生產工藝
　3.3　工業硅生產操作
　3.4　工業硅生產設備
　3.5　生產操作及安全控制
　3.6　煙氣凈化利用
　小結
　習題
第4章　氫氣的制備和凈化
　4.1　氫氣的簡介
　4.2　氫氣的生產工藝
　4.3　氫氣的凈化、儲存和運輸
　4.4　氫氣的安全使用
　小結
　習題
第5章　液氯的汽化
　5.1　氯氣的性質
　5.2　液氯的汽化
　5.3　氯的存放和安全使用
　小結
　習題
第6章　氯化氫的合成
　6.1　氯化氫的性質
　6.2　氯化氫的合成原理
　6.3　氯化氫合成工藝過程
　6.4　主要設備及其作用
　6.5　工藝條件選擇和操作要點
　6.6　質量控制要點
　6.7　安全控制
　小結
　習題
第7章　三氯氫硅的合成
　7.1　三氯氫硅制備原理
　7.2　三氯氫硅合成工藝流程
　7.3　三氯氫硅合成的主要設備
　7.4　三氯氫硅合成的工藝條件
　7.5　生產現場操作要點
　小結
　習題
第8章　三氯氫硅的提純
　8.1　三氯氫硅中雜質含量的分析
　8.2　提純三氯氫硅的方法簡介
　8.3　精餾的基本概念
　8.4　雙組分溶液的氣液相平衡
　8.5　精餾原理
　8.6　精餾塔的物料衡算——操作線方程
　8.7　雙組分連續精餾過程的計算
　8.8　精餾提純設備
　8.9　精餾工藝
　小結
　習題
第9章　三氯氫硅氫還原制備高純硅
　9.1　三氯氫硅氫還原的原理及影響因素
　9.2　三氯氫硅氫還原的工藝
　9.3　三氯氫硅氫還原操作要點及事故處理
　9.4　三氯氫硅氫還原工藝質量要求
　9.5　三氯氫硅氫還原工藝中的計算
　9.6　還原生產中的熱能綜合利用
　小結
　習題
第10章　還原尾氣干法回收工藝
　……
第11章　硅芯的制備與腐蝕
第12章　硅烷法制備高純硅
習題
參考文獻