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商品簡介
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此書的目的在於告知新工程師及工程學生，什麼是微系統及其各式各樣的產品和運用領域。其用以協助他們快速地熟悉微小化的感覺器與致動器，以及它們之整合成為產品。本書包括很多新裝置的主意以及如何製造之鳥瞰。不熟悉的讀者可以在書中找到很多易於了解的示範；但本書並不在理論上深入，儘管如此，讀者可以多參讀工程學、物理及化學，以對於書中所示的裝置之原理有更的了解。
目次
章節內容
第一章 微系統技術及微機械人的創意與問題
第二章 微系統技術之應用
第三章 微系統科技的技巧
第四章 生產微機械元件的關鍵製程
第五章 微致動器：原理與實例
第六章 微感覺器：原理及例子
第七章 MST及資訊處理
第八章 微機械人
參考文獻
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